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真空沉積爐定義
瀏覽人數(shù):2368 次更新時間:2022-03-03


       真空沉積爐是用于制備碳碳復合材料,沉積爐主要用于石墨、半導體器件、耐熱沖刷材料的表面熱解炭涂層制備。


       采用高溫鉬管為熱電偶保護管,提高熱電偶使用溫度及延長使用壽命。

       氣相沉積功能+真空燒結爐設計,采用石墨碳管為發(fā)熱體,碳氈為保溫層。


        

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